光图象位移传感器的工作原理？其优缺点？

正确答案为：答：（1）工作原理：目标1由透镜2聚焦在析象管3的光阴极4上而成象5。光阴极的后表面依据其前表面上的目标象的照度，成比例发射电子。析象管的电子光学系统的电场(未画出)使其在析象管中加速，并聚焦在具有一个中心小孔7的圆盘6上。这个"电子象"只有一小部分通过小孔而到达电子倍增器8，并使电子倍增器产生与该小部分强度成比例的输出电流。当电子象的白区进入电子倍增器时，将产生最大输出；反之．黑区进入电子倍增器时，将产生最小的输出；当分界线处于小孔之内时，将产生与小孔内黑白比例相当的输出。 （2）优缺点： 1）如果要求系统有较高的精确度和跟踪速度，则要求回路有足够大的增益。这种伺服系统中，没有机械运动元件，其滞迟甚小，因而既易于满足上述要求，又不损害系统的稳定性。 2）若需测量物体平面运动的两互相垂直方向的位移，则需对该系统进行一些改进。 3）这类系统满刻度位移在0.05mm到几米之间(取决于目标的距离和所用的光学系统)，线性误差低于1％，单向跟踪工作频率可超过l00kHz，近程的分辨力可达百分之儿微米。