问题 更新时间2023/4/3 12:59:00 [应用题,10分] 微传感器 答案 登录 注册 是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。 参考解析： 暂无 出自：联大 >> 河南理工大学-电气工程及其自动化-检测技术及应用
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