进行中，离子束溅射到材料表面时会发生撞击效应、溅射效应和注入效应。其中，当具有一定动能的离子束斜射到材料表面撞击出原子时，发生的是撞击效应和溅射效应；当离子能量足够大并垂直于工件表面撞击，离子钻入工件表面层，发生的是注入效应。